高效过滤器主要用于捕集0.5um一下的颗粒灰尘及各种悬浮物。采用超细玻璃纤维纸作滤料，胶版纸、铝膜等材料作分割板，与铝合金胶合而成。

每台均经纳焰法测试，具有过滤效率、阻力低、容尘量大等特点。高效空气过滤器可广泛应用于光学电子、LCD液晶制造，生物医学、精密仪器、饮料食品，PCB印刷等行业无尘净化车间的空调末端送风处。高效和超高效过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板高效过滤器、无隔板高效过滤器、大风量高效过滤器，超高效过滤器等。

另外还有三种高效过滤器，一种是超高效过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是抗菌型无隔板高效空气过滤器，具有抗菌作用，阻止细菌进入洁净车间，一种是亚高效过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。